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介绍带有脉冲放电氦离子检测器的气相色谱仪检测高纯气体中的痕量杂质，并通过具体实例对高纯气体中杂质的定量分析时可能遇到的问题进行讨论。 关键词 脉冲放电氦离子;高纯硅烷; 电子气体;痕量杂质;定量分析14年前
2011-03-27
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